正阳公司成立
水刀式清洗设备、BJ清洗设备
3D盖板无接触式清洗设备、TFT切裂专用清洗设备
CDS化学供应应柜、听筒孔智能清洗设备
研磨清洗设备、TFT检测专用清洗设备
微波等离子清洗设备、过节市场开拓
晶圆RCA槽式清洗设备、兆声波清洗设备
珠海工厂投产、诱导腐蚀工艺、设备,(O3)半导体级臭氧水系统
1106战略实施——板级龙蛋EP、板级旋风系列、批次旋涡系列、140Kg高压微雾清洗设备
晶圆无片盒清洗机、飓风、凤巢系列,TGV柔性智能全制程工艺及湿法设备;建湿法工艺、装备实验室机技术研究创新基地