真空等离子清洗机整个清洗过程大致如下：1）被清洗的工件送入真空式并加以固定，启动运行装置，开始排气，使真空室内的真空程度达到10Pa左右的标准真空度。一般排气时间大约需要几分钟。2）向真空室内引入等离子清洗用的气体，并保持腔内压强稳定。根据清洗材质的不同，可分别使用氧气、氩气、氢气、氮气、四氟化碳等气体。3）在真空室内的电极与接地装置之间施加高频电压，使气体被击穿，并通过辉光放电而发生等离子化和产生等离子体，让在真空室产生的等离子体完全笼罩住被处理工件，开始清洗作业，一般清洗处理持续几十秒到几十分钟不等。4）清洗完毕后切断电源，并通过真空泵将气体和气化的污垢抽走排出。
真空等离子清洗机整个清洗过程与广泛应用于
1.金属的活化处理：
尽管可能是对金属进行活化处理的，但是金属的活化非常不稳定，故此有效时间较短。如果对金属进行了活化处理，则必须在几分钟或者几小时之内进行后续加工处理（胶合、涂漆…），因为表面很快就会永久性的与环境空气中的污物结合。最好是在落实诸如锡焊焊接或者粘接之类的工艺之前进行金属活化处理。
2塑料的活化处理：
诸如聚丙烯或者 PE 之类的塑料均为非极性结构。这意味着，在印刷、喷漆和粘合之前必须对这些塑料进行预处理。作为工艺气体，通常使用干燥和不含油的压缩空气。
将接受过处理的工件和未接受过处理的工件浸入水中（极性溶液），活化效果令人印象极其深刻。在未经过处理的零部件上，形成了正常形状的液滴。接受过处理的零部件的处理部位则完全被水湿润。
3.可以对玻璃和陶瓷进行活化吗？
玻璃和陶瓷的表现与金属类似，并且活性处理的有效期较短。作为工艺气体，通常使用压缩空气。
真空等离子清洗机广泛应用于
等离子清洗、刻蚀、等离子镀、等离子涂覆、等离子灰化和表面改性等场合。通过其处理，能够改善材料表面的润湿能力，使多种材料能够进行涂覆、镀等操作，增强粘合力、键合力，同时去除有机污染物、油污或油脂。
真空等离子清洗机最大技术特点是：它不分处理对象，可处理不同的基材，无论是金属、半导体、氧化物还是高分子材料(如聚丙烯、聚氯乙烯、据四氟乙烯、聚酰亚胺、聚酯、环氧树脂等高聚物)都可用等离子体很好地处理，因此，特别适合不耐热和不耐溶剂的基底材料。而且还可以有选择地对材料的整体、局部或复杂结构进行部分清洗。